晶圓承載盤 - 半導體用陶瓷 工业陶瓷 耐高温陶瓷 绝缘陶瓷 特种
半导体设备以及LCD设备之关键零组件及耗材多应用于前段制程,如:离子植入、微影显像、化学气相沉积成膜、蚀刻、溅镀、洗净、长晶等制程设备,其中有一大部份是使用在真空腔体环境中,也因在真空腔体环境下长时间使用化学气体的情况下,腔体内部所需使用的零件就特别需要注意是否可以耐酸碱,耐腐蚀,耐磨擦…等。
具备台湾数十年精密陶瓷雄厚的技术及加工经验支持,针对科技陶瓷的烧结、生产及精密加工能力为业界首屈一指!
"21世纪的新兴材料"的陶瓷拥有卓越性能具有远大的发展的前景。氧化铝、氧化锆、氮化硅、氮化铝、碳化硅陶瓷及石英材料,针对科技、工业新型陶瓷材料制造及供货商提供客户各种环境变化需求,因应不同的高低温度、酸碱、导热散热、隔热、绝缘、半导体、耐磨、抗压、耐电压等环境提供各企业不同的解决方案及产品零配件的应用。并于近期投入陶瓷表面处理技术,为产品及客户解决方案提供新一项的选择。
本公司产品已广泛用于光电、半导体、机械、电子、化工、纺织、冶金、建筑及航空航天等各领域。目前公司极力于推广发展于LED上游MOCVD磊晶厂商以及晶圆半导体产业,我们还可以根据客户不同的要求,带着客制化的服务精神,开发出相应的部件或模具,来满足客户的要求;贯彻实行"客户满意,真诚服务,追求卓越,勇于研发创新"的企业精神,不断的提高企业技术水平,在平等、互利的基础上开展多种形式的合作,以期与各企业达到双赢局面。
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